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- 硅 盤

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采用直拉法拉制的大尺寸高純度單晶系列產品,主要用于晶圓加工時刻蝕工藝中使用的極關鍵材料。提供滿足客戶要求的不同尺寸、電阻率的硅棒形態單晶產品。

產品用途

晶圓刻蝕用上電極用加工原材料。

 

 

 

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參數

產品描述

采用直拉法拉制的大尺寸高純度單晶系列產品,主要用于晶圓加工時刻蝕工藝中使用的極關鍵材料。提供滿足客戶要求的不同尺寸、電阻率的硅棒形態單晶產品。

產品用途

晶圓刻蝕用上電極用加工原材料。

技術參數

直徑mm

型號/晶向

純度

電阻率(Ω.cm)

厚度

φ200-φ475

P/<100>/<111>

接近11N

≤0.01

客戶定制

1-4

60-90

客戶定制

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